1、導向精度

主要指導軌運動軌跡的精度。影響導向精度的主要因素有：導軌的幾何精度和接觸精度，導軌的結構形式，導軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

2、精度保持性

主要由導軌的耐磨性決定。耐磨性與導軌的材料、導軌副的摩擦性質、導軌上的壓強及其分布規律等因素有關。

3、剛度

包括導軌自身剛度和接觸剛度。主要取決于導軌的形狀、尺寸與支承件的連接方式及受力狀況等因素。

4、低速運動平穩性

動導軌作低速運動或微量位移時易產生摩擦自激振動，即爬行現象。爬行會降低定位精度或增加被加工工件表面的粗糙度的值。